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日本SMC流量開關IF301-10-00 注1）1.620升/分鐘（0.1兆帕）與1毫帕的·s粘度（1厘泊）或更少 根據流體溫度注2）工作壓力范圍下降。見所附圖表。 注3）的Z大工作壓力，并與流體溫度變化的1.5倍。 注4）該系統準確度高，與PF2D30結合？