ASCO角座閥E290A791

技術參數

中心測量距離 45mm

檢測物體     3英寸以上的半導體晶圓

(注):檢測8英寸以下的晶圓時，可能會因晶圓間距、定位邊或表面的狀態等而影響檢測。

耐環境性:保護構造 IP20(IEC)

耐環境性:環境溫度 0℃-＋55℃(注意不可結露)、存儲時：?10℃-＋70℃

耐環境性:環境濕度 35%-85%RH、存儲時： 35%-85%RH

耐環境性:環境照度 白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度1,500lx以下

耐環境性:耐電壓    AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間

耐環境性:緣電阻 所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表

耐環境性:耐振動 頻率10?500Hz　雙振幅3mm　X,Y和Z方向各2小時

耐環境性:耐沖擊 耐久98m/s2(約10G) XYZ方向各5回

可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面

(注):對于經研磨后厚度變薄的晶圓，如果其端面呈刀刃狀，可能會因光線不能從檢測面向受光方向反射而難以檢測。

檢測角度 12.5±5°

(注):晶圓旋轉時，定位邊的   大跳動角度約為±20°。

晶圓間距    間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測

(注):斜向插入8英寸晶圓時的附近的間距。檢測帶定位邊的晶圓時，對于避開定位邊的檢測位置，晶圓間距變得更窄，檢測信號無法分解，變為連續的寬幅信號。

適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒

穩定指示燈 綠色LED(穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈)

定時器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時器　有效/無效切換式

投光停止輸入 信號條件

?投光停止：斷開或4?8V

?投光：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度切換輸入 信號條件

?輸入OFF：斷開或4?8V

?輸入ON ：0?3V或9V?+V(26.4V MAX.)

靈敏度設定方法 背面教導：按本體靈敏度設定按鈕運行

檢測靈敏度切換：本體開關2bit、4級或外部輸入的2級選擇式

電源電壓 12?24V DC±10%　脈動P-P10%以下

消耗電流 65mA以下

輸出:輸出動作 可用切換開關選擇入光時ON/非入光時ON

輸出:短路保護 裝備(自動復位)

反應時間 500μs以下

工作狀態指示燈 橙色LED(輸出ON時亮起)

ASCO角座閥E290A791